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包括电容器和金属接触的半导体装置及其制造方法
编号:S000019427 刷新日期: 有效日期至:2020-12-24 浏览:2180 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明的实施例提供了一种包括电容器和金属接触的半导体装置及其制造方法。该方法包括:在单元区和外围区上或中形成第一模层,形成穿透单元区中的第一模层的第一存储节点和穿透外围区中的第一模层的第一接触,在第一模层上形成第二模层,形成穿透第二模层以连接至第一存储节点的相应存储节点的第二存储节点,除去单元区和外围区中的第二模层以及单元区中的第一模层,以留下外围区中的第一模层,以及形成穿透第一层间绝缘层以连接至第一接触的第二接触。还提供了相关的装置。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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