本发明涉及一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液，其原料由如下质量份数比的组分组成，包括30-80的多元醇、0.01-0.5的氢气抑制剂、0.01-0.5的酸、0.1-1.0的表面活性剂、1.0-10.0的分散剂、0.01-0.5的防腐剂和10-35去离子水；其中：本发明的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1～1∶2的混合物，且聚乙二醇的分子量在100～600之间。本发明具有效抑制氢气产生，润滑作用明显，易于清洗，成本低，性能稳定的特点。