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双扩散漏极金属氧化物半导体元件及其制造方法
编号:S000019389 刷新日期: 有效日期至:2020-12-01 浏览:2208 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提出一种双扩散漏极金属氧化物半导体(double?diffused?drain?metal?oxide?semiconductor,DDDMOS)元件及其制造方法。DDDMOS元件形成于基板中,包含第一井区、栅极、扩散区、源极与漏极,且另有一低压元件形成于该基板中,包含第二井区以及轻掺杂漏极区,其中,第一井区与第二井区利用相同制程步骤形成,且扩散区与轻掺杂漏极区利用相同制程步骤形成。如此一来,根据本发明,高压DDDMOS元件,可利用与低压元件相同制程步骤形成。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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