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> 技术详情
一种半导体直拉单晶硅棒自动分段设备及方法
编号:S000019372
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-11
浏览:
2459
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 浙江
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种半导体直拉单晶硅棒自动分段设备及方法,其中自动分段设备包括PLC控制系统、割断装置、冷却水系统、夹持装置及自动机床,其中,单晶硅棒由夹持装置夹持固定于自动机床的工作台上,PLC控制系统控制自动机床直线移动的同时控制割断装置在自动机床移动到指定位置后对单晶硅棒进行割断作业,冷却水系统提供割断作业中的冷却水。本发明根据影响单晶电阻率变化因素推倒出的理论模型基础上结合实际修正,绘制不同规格单晶的电阻率分布曲线;利用PLC控制系统,根据单晶硅电阻率变化曲线进行长度计算;通过控制自动机床及割断装置实现单晶硅棒自动截取功能,极大提高了生产中的电阻率对档性,优化了生产环节,提高了生产效率。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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