一种半导体设备的远程控制中基于标签的通信方法，先建立SECS信息模板集合，然后建立设备端和主机端的SECS连接，再进行设备端和主机端之间的SECS信息发送和接收。SECS信息模板集合包括设备端SECS信息模板集合和主机端SECS信息模板集合，设备端SECS信息模板集合包括多个设备端SECS信息模板，设备端SECS信息模板分别为每个生产功能配置，主机端SECS信息模板集合包括多个主机端SECS信息模板集合，SECS信息模板包括生产功能所对应的国际SEMI标准E5中的SECS信息格式及必需具有的所有标签，所有标签包括一个信息标签和必需具有的所有变量数据项标签，必需具有的所有变量数据项标签是指该SECS信息格式拥有的所有变量数据项标签，每个变量数据项必需被赋予一个变量数据项标签。