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> 技术详情
金属硬掩膜层制备方法以及半导体制造方法
编号:S000019363
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-23
浏览:
2400
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供了一种金属硬掩膜层制备方法以及半导体制造方法。根据本发明的铜互连形成方法包括:提供基底;在基底上淀积阻挡薄膜;在阻挡薄膜上淀积介质薄膜;在介质薄膜上淀积金属硬掩膜层;对金属硬掩膜层进行紫外光照射处理;在金属硬掩膜层上淀积硬掩膜覆盖层;执行单大马士革刻蚀工艺和/或双大马士革刻蚀工艺以刻蚀介质薄膜、硬掩膜以及硬掩膜覆盖层,从而暴露多孔介质薄膜的至少一部分孔。根据本发明,经过紫外光照射处理,金属硬掩膜层薄膜内部较弱的化学键会被去除,提高了金属硬掩膜层薄膜的质量;金属硬掩膜层薄膜产生收缩,使得金属硬掩膜层薄膜收缩而产生趋向拉伸的应力,从而能够抵消部分金属硬掩膜层薄膜中较大的压应力。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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