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一种全自动半导体晶片激光加工装置及其加工方法
编号:S000019351 刷新日期: 有效日期至:2020-12-27 浏览:2399 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 安徽 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种全自动半导体晶片激光加工装置及其加工方法,全自动半导体晶片激光加工装置是由前支架、后支架、激光加工系统、多个旋转平台、自动传输系统、多个与旋转平台相对的自动取片/放片系统和两个晶片料盒升降系统组成;激光加工系统和多个旋转平台均设置于后支架上;自动传输系统、多个自动取片/放片系统和两个晶片料盒升降系统均设置于前支架上,且两个晶片料盒升降系统分别设置于自动传输系统的两端。本发明采用自动进料、自动出料系统和自动加工系统进行加工,人为操作相关部件的启停即可,安全且操作简单。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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