一种乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置，包括除水器、乙醇蒸发器、回收塔和乙醇吸收装置，所述回收塔自上而下依次设置除雾层、吸收液喷洒层、吸收层和回收槽，所述除水器的进口为有机废气入口，所述除水器的出口、乙醇蒸发器的出口均与所述吸收层连通，所述回收塔的上部的出气口与所述乙醇吸收装置连接，所述回收槽的底部与排出管连接，所述排出管上安装阀门。本发明提供了一种节省成本、降低能耗的乙醇蒸汽辅助半导体/面板生产中有机废气回收装置。