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一种N型横向碳化硅金属氧化物半导体管
编号:S000019254 刷新日期: 有效日期至:2020-12-29 浏览:2407 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种N型横向碳化硅金属氧化物半导体管,包括:P型衬底,在P型衬底上设有P型外延层,在P型外延层的内部设有N型漂移区、N型源区和P型体接触区,在N型漂移区内设有N型漏区,在P型外延层的表面设有栅氧化层和场氧化层,在栅氧化层和场氧化层的表面设有多晶硅栅,其特征在于,在场氧化层的下方靠近栅氧化层的位置设有重掺杂深P型柱,在栅氧化层正下方设有轻掺杂P型基区,重掺杂深P型柱的存在使得该器件的抗穿通能力有了很大的提高,使得P型基区相对于一般器件,长度更短,浓度更淡,从而降低了器件的导通电阻和阈值电压。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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