在角应力消除区域上方具有探针焊盘的半导体芯片包括：电路区域和角应力消除(CSR)区域。CSR区域位于半导体芯片的角部。被测器件(DUT)或功能电路被设置在电路区域上方。探针焊盘被设置在CSR区域上方。金属线从电路区域延伸到CSR区域，从而将探针焊盘与DUT结构或功能电路电连接。