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具有可移动部件的半导体器件及其制造方法
编号:S000019170
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-01
浏览:
2100
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供了一种微电子机械系统(MEMS)结构的实施例,该MEMS结构包括MEMS衬底;在该MEMS衬底上设置的半导体材料的第一导电塞和第二导电塞,其中第一导电塞被配置为用于电互连,以及第二导电塞被配置为抗静摩擦力凸块;被配置在该MEMS衬底上并与第一导电塞电连接的MEMS器件;以及盖顶衬底,该盖顶衬底接合至该MEMS衬底,从而该MEMS器件被封闭在MEMS衬底和盖顶衬底之间。本发明还提供了一种具有可移动部件的半导体器件及其制造方法。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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