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可实现模式间距为100GHz的双模激射半导体激光器
编号:S000019165 刷新日期: 有效日期至:2020-12-03 浏览:1977 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种可实现模式间距为100GHz的双模激射半导体激光器,包括:一衬底;一n-InP缓冲层;一InGaAsP下限制层;一多量子阱有源层;一InGaAsP上限制层,其表面形成有布拉格光栅结构,该布拉格光栅结构制作于光栅区;一p-InP层;一p-InGaAsP刻蚀阻止层;一上p-InP盖层;一p-InGaAs欧姆接触层,在该p-InGaAs欧姆接触层上形成有隔离沟,该隔离沟将该p-InGaAs欧姆接触层分为四段;以及分别形成在四段p-InGaAs欧姆接触层上的金属电极层;其中,该p-InGaAs欧姆接触层分成的四段分别对应于该双模激射半导体激光器的的四段结构:前增益区、相区、光栅区和后放大区。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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