本发明提供了一种高温半导体工艺的机台的热交换系统与方法，用以与机台的反应室的两个通风端口连接，所述热交换系统包括进风口、出风口、热交换器、位于所述出风口的吹风机以及一个热传感器，从所述反应室排出的热空气进入所述进风口后，依次经过热交换机、热传感器和出风口，再由位于所述出风口的吹风机的作用排入反应室；所述热交换机用于将热空气降温；所述热传感器用以采集所述热交换机降温后的空气温度，当采集到的降温后的空气温度高于设定值，则终止热交换工艺。本发明通过热传感器的引入，避免热交换出现的错误和低效对半导体处理工艺产生影响。