半导体镀膜设备用分节式销，主要解决现有技术结构复杂、加工成本高及安装难度大的技术问题。该分节式销由销上部分与销下部分构成。所述销上部分的材质为陶瓷，其外制有外螺纹；销下部分的材质为镍，其内制有内螺纹。销上部分与销下部分通过上述内、外螺纹连接。所述分节式销至少由两节组成，各节通过螺纹或销连接，从而构成一完整销。本发明的有益效果是：该结构能够更好的实现销在晶圆传输过程中的性能要求，而且与现有技术相比更具合理性，其零部件精度要求相对不高，结构简单，没有复杂的导向结构或配重结构，加工、安装方便，价格也相对低廉。