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沟渠式金氧半导体结构及其制作方法
编号:S000019115 刷新日期: 有效日期至:2020-10-30 浏览:2269 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种沟渠式金氧半导体结构,包含基材、外延层、沟渠、栅极绝缘结构、沟渠式栅极、保护环、以及位于此保护环中的强化结构。基材具有第一导电型、第一面、以及相对第一面的第二面。外延层具有第一导电型并位于第一面上。沟渠位于外延层中。栅极绝缘结构覆盖沟渠的内表面。沟渠式栅极位于沟渠中并具有第一导电型。保护环具有第二导电型并位于外延层中。强化结构具有电性绝缘材料并位于此保护环之中。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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