本发明公开了一种用于半导体厂房的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间，所述大型洁净空间内具有中央走道和至少一条生产走道；所述中央走道和所有生产走道的四周围设有隔板，使其所在的至少一部分架构空间、洁净空间，以及高架地板所在的空间构成独立的洁净微环境结构；所述中央走道的内围设有第二隔板，第二隔板设于所述隔板的内侧，隔板和第二隔板之间的天花板镂空，使隔板和第二隔板之间的架构空间和洁净空间构成回风通道。本发明在中央走道和所有生产走道的四周围设有隔板，构成独立的洁净微环境结构，从而避免了上述腐蚀性气体对中央走道和生产走道内的储存仓及产品的影响。