本发明提供一种具有物理操作检测器及校正器的半导体元件，包括第一固态老化元件(SSAD)单元及第二固态老化元件单元。第一固态老化元件单元具有至少一个第一晶体管，其第一基底及第一浮动栅极之间具有第一介电层。第二固态老化元件单元具有至少一个第二晶体管，其第二基底及第二浮动栅极之间具有第二介电层。第二介电层较厚于第一介电层。