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> 技术详情
半导体制程用的清洁组合物及清洗方法
编号：S000018969
刷新日期：
有效日期至：
2020-10-16
浏览：
2253
次
对接邀请：
0
次
意向价格：
面议
所在区域：
中国 -
技术领域：
智能制造 - 装备制造业
转让类型：
科技服务
专利类型：
发明专利
技术成熟度：
可以量产
供应描述
本发明提供一种半导体制程用的清洁组合物，此清洁组合物包括至少一多胺多羧酸或其盐类、至少一溶剂、至少一经取代或未经取代的苯乙胺以及水。其中，溶剂选自由二醇类所构成的族群。
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认证方式：
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