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半导体制程用的清洁组合物及清洗方法
编号:S000018969 刷新日期: 有效日期至:2020-10-16 浏览:2464 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种半导体制程用的清洁组合物,此清洁组合物包括至少一多胺多羧酸或其盐类、至少一溶剂、至少一经取代或未经取代的苯乙胺以及水。其中,溶剂选自由二醇类所构成的族群。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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