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超薄绝缘层半导体激光器及其制备方法
编号:S000018878 刷新日期: 有效日期至:2021-01-05 浏览:2489 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种半导体激光器,特别是超薄绝缘层半导体激光器及其制备方法。半导体激光器包括衬底上的下金属化层,下限制层,下波导层,下过渡层,量子阱层,上过渡层,上波导层,上限制层,上金属化层,上下金属电极层,前后腔面分别镀的增透膜和高反射薄膜,在上金属化层和上金属电极层之间的上金属化层表面开有至少两条沟槽,两相邻沟槽之间设有载流子限制绝缘凸起。制备方法是采用光刻技术与刻蚀技术在上金属化层制备沟槽,然后在金属化层上沉积载流子限制层;将沟槽之间的载流子限制层进行裁减,形成载流子限制绝缘凸起。本发明绝缘层厚度低,可以使半导体激光器的散热更加快速,有利于半导体激光器功率和寿命的提高。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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