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一种具有光栅结构的边发射半导体激光器
编号:S000018857 刷新日期: 有效日期至:2020-11-12 浏览:2284 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种具有光栅结构的边发射半导体激光器,属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的半导体激光器外延结构;同时包括了二氧化硅绝缘层、上层P型电极、下层N型电极,其中光栅结构生长在脊形台上,制作过程采用光刻工艺;划片后,将芯片烧结在铜热沉上,封装固定在散热基座上。此结构中脊形台上光栅结构的引入抑制了注入到有源层载流子的侧向扩散,提高有源区载流子分布的均匀性,从而降低半导体激光器的阈值电流。本发明制作工艺简单、成本低、重复性好。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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