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> 技术详情
用于半导体基片处理设备的卡盘组件
编号：S000018856
刷新日期：
有效日期至：
2020-12-25
浏览：
2440
次
对接邀请：
0
次
意向价格：
面议
所在区域：
中国 -
技术领域：
智能制造 - 装备制造业
转让类型：
合作研发
专利类型：
发明专利
技术成熟度：
可以量产
供应描述
此处所公开的是一种用于半导体基片处理设备的卡盘组件，该卡盘组件包括冷却板，该冷却板是可提升的，由此使得控制卡盘的温度成为可能。该卡盘组件包括设置在卡盘的下方的冷却板和提升该冷却板的冷却板提升装置。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式：
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