一种半导体电热膜的制备方法，选用硼硅玻璃管、石英玻璃管或陶瓷管为基材，所述基材形状为管状、U型、平面或曲面；以水合四氯化锡，四氯化钛，三氯化锑，三氯化钛和无水乙醇为基本材料，经恒温搅拌均匀即得源溶液；所述基材通过机械联动装置送至密闭的加热腔体内，温度控制在450-700℃，通过喷嘴将源溶液雾化并喷至基材表面，雾化溶液与基材表面发生化学与物理双重反应，且主要产物以化学键结合方式于所述基材表面形成稳定的金红石结构；将所述加热腔体内的基材升温至600-800℃，保持3-5小时，然后将其取出自然冷却即可。所制备的半导体导电膜耐酸碱，结构稳定，电阻稳定，透光率高，应用范围广泛。