用于防止光攻击的保护电路的半导体器件以及运行方法。具有半导体衬底20的半导体器件100，其中在该半导体衬底20中构造具有沟槽接线端子5的经掺杂的沟槽10和具有至少一个电势接线端子35的晶体管结构30，其中所述晶体管结构30具有寄生晶闸管40并且至少部分布置在经掺杂的沟槽10中，其中所述电势接线端子35和所述沟槽接线端子5通过电阻R连接。