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半导体结构及其制造方法
编号:S000018538 刷新日期: 有效日期至:2020-10-29 浏览:2471 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种用于制造一半导体结构的方法。该方法包括:在一半导体晶粒上形成一导电衬垫;在该导电衬垫上方形成一晶种层;在该晶种层上方界定一第一遮罩层;及在该第一遮罩层中形成一银合金凸块本体。该在该第一遮罩层中形成一银合金凸块本体包括以下操作:制备一第一基于氰化物的电镀浴;将该第一基于氰化物的电镀浴的一pH值控制在6至8的一范围内;将该半导体晶粒浸没至该第一基于氰化物的电镀浴中;及将0.1ASD至0.5ASD的一电镀电流密度施加至该半导体晶粒。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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