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半导体基板及其制造方法
编号:S000018400 刷新日期: 有效日期至:2020-11-22 浏览:2398 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种半导体基板及其制造方法,其目的在于提供一种在DWB法中的贴合时能够减小半导体层所受的损坏,将受到的损坏的影响以及界面能级的影响抑制得低且具有高的载流子迁移率的晶体管。本发明提供的半导体基板具有:基底基板(102)、第1绝缘体层(104)以及半导体层(106),第1绝缘体层(102)由非晶状金属氧化物或非晶状金属氮化物构成,半导体层(106)包含第1结晶层(108)以及第2结晶层(110),第1结晶层(108)的电子亲和力(Ea1)大于第2结晶层(110)的电子亲和力(Ea2)。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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