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半导体器件及其制造方法
编号:S000018377 刷新日期: 有效日期至:2020-11-20 浏览:3122 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:半导体衬底;半导体元件,形成在半导体衬底上;第一金属环,环绕半导体元件;绝缘膜,形成为覆盖半导体元件,并在其中布置有第一金属环;以及凹槽,形成在绝缘膜中,其中,通过以如下方式叠置多个金属层来形成第一金属环,所述方式即,使得多个金属层的各自的外侧侧面彼此齐平,或者使得放置在下方金属层上方的多个金属层的每一个的外侧侧面比该下方金属层的外侧侧面放置得更加靠近内侧;以及该凹槽具有第一底部,该第一底部被布置在第一金属环的内侧,并延伸至第一金属环的最上层金属层的上表面的深度。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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