本申请揭示一种光学半导体器件以及光学半导体器件的制造方法。该光学半导体器件包括：波导单元，形成在具有（100）平面的半导体衬底上并且包括用来传播光的芯层；光斑尺寸转换单元，形成在该半导体衬底上，通过光学方式连接到该波导单元，并且转换传播光的直径；以及一对阶梯部，形成在该半导体衬底上并且在夹设该光斑尺寸转换单元的同时彼此相对。将该光斑尺寸转换单元夹设在该对阶梯部中的同时彼此相对的相对单元之间的间隔是变化的，而且所述相对单元中每一个均包括取向相对于[011]方向朝向[0-11]方向倾斜的部分，以及该光斑尺寸转换单元上端的位置高于该波导单元上端的位置。