本发明涉及一种工业有机废气低温等离子体集成净化装置与方法，装置由低温等离子体单元与分子筛吸附/催化单元依次串联组成，并包括相应的连接管道、阀门、引风机及循环风机。其处理方法是有机废气在引风机的作用下，依次经过等离子体单元氧化及分子筛吸附/催化单元吸附处理，分子筛吸附/催化单元中一个分子筛吸附/催化仓室吸附饱和后，该仓室门关闭，有机废气进入另外一个分子筛吸附/催化仓室内吸附净化后排放。吸附饱和后的分子筛催化单元通过阀门切换与外接管路、等离子体、循环风机构成循环再生系统，在较短时间内实现分子筛原位再生。其运行阻力低、一次性投资及设备运行费用低，适用于大风量、低浓度、工业复合有机废气的净化。