一种抗软化氮化硅梯度掺杂石英坩埚制备方法，将粉状高纯石英通过手工或机构布料装置均匀散布于旋转的石墨基体上作为石英坩埚底料。布料完成后送入三相电弧炉内，利用三相石墨电极通电后产生的高温弧光来加热熔化物料，熔炼温度保持在2000℃以上，待熔化料层达到一定厚度并不存在明显边界层时，停止加热并自然冷却至室温。通过调整石英粉和氮化硅粉的含量和分布制备的力学性能和软化点不同的梯度石英/氮化硅复合石英坩埚，具有较高的强度，同时提高石英坩埚的软化点，可防止石英坩埚在使用过程中出现变形,可以在制备单晶硅过程中重复使用。