基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式；本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的调节实现自动化，且对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动有抑制作用。