本发明公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置的精度补偿方法。直线运动平台装置包括有宏运动装置、微运动装置、控制装置和位置检测装置。宏运动装置由伺服驱动器、直线驱动模块、直线导轨、底座和宏动工作平台构成；微运动装置是由压电陶瓷驱动器或音圈电机、柔性铰链放大机构组成；柔性铰链放大机构由柔性铰链、微动工作平台、框架构成；压电陶瓷驱动器或音圈电机驱动柔性铰链放大结构，带动微动工作平台产生位移；位置检测装置实时检测宏微运动工作平台的位移信息，并将其送给所述控制装置；控制装置根据宏微运动的位移传感器检测信息，驱动微动工作平台实时补偿宏运动装置的运动，实现所述同轴宏微复合直线运动平台装置的高静态精度及高动态精度。