本发明涉及一种用于三维柔性阵列触觉传感器标定装置的标定方法。标定时，根据待标定传感器的尺寸、量程、材料特性等不同，标定程序计算标定参数和标定路径。在标定程序的控制下，由加载头水平、垂直旋转机构配合角度编码器调整三维力加载头姿态；X\Y\Z三轴移动机构配合光栅尺实现标定位置准确定位；非切向力加载时驱动Z轴移动机构，切向力加载时驱动X\Y两轴移动机构，在标准力传感器闭环控制下，对三维柔性阵列触觉传感器实现逐点三维载荷的独立、复合加载，通过解耦算法分析标定数据，得到传感器的标定耦合网络。本发明提供了一种三维柔性阵列触觉传感器的自动化、智能化标定方法，标定方法简易，标定精度高、准确可靠。