一种基于并联柔顺机构的压电无阀微泵吸盘，包括单晶硅衬底、铜基复合薄膜、柔顺机构和压电叠堆驱动器；柔顺机构设有形变位移输入部、形变位移输出部和定位槽；压电叠堆驱动器固定夹持在形变位移输入部上方的镂空处，并且与形变位移输入部紧密贴合；位于上层的铜基复合薄膜与位于下层的单晶硅衬底通过环氧结构粘结胶粘接组装成薄膜微泵，该薄膜微泵卡入柔顺机构的定位槽内并粘接密封，形变位移输出部的下端面与铜基复合薄膜的上平面贴合并粘接；柔顺机构将压电叠堆驱动器通电后产生的单向形变位移放大传动到铜基复合薄膜，驱动薄膜微泵工作，抽取设于单晶硅衬底下部的吸附腔内的气体，形成吸盘的负压。本发明体积小、重量轻、无噪声，可作为爬壁机器人的吸附装置。