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纳米半导体薄膜材料加工测试平台（中科院）

编号：S000000163 刷新日期：有效日期至：2018-10-29 浏览：2456 次对接邀请：0次

意向价格：面议

行业分类：软件和信息技术服务业

所在区域：中国 - 上海技术领域： -

转让类型：技术转让

专利类型：非专利技术成熟度：可以量产

供应描述

中国科学院上海微系统与信息技术研究所半导体薄膜工程技术研究中心纳米半导体薄膜材料加工测试平台拥有包括纳米半导体薄膜材料制备、加工和测试等方面的多种仪器设备,其中,纳米半导体薄膜材料制备设备有：高真空磁控溅射设备、超高真空电子束蒸发设备、等离子体辅助增强沉积系统、磁过滤弧沉积系统、脉冲激光沉积系统;纳米半导体薄膜材料加工设备有：离子注入机、化学机械抛光机、快速退火炉、高温退火炉、EATON-Z200离子束混合装置。

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