本发明公开了一种复合氧化物Y₅VO₁₀及其制备方法。该复合氧化物作为温度稳定型超低介电常数微波介电陶瓷。（1）将纯度为99.9%（重量百分比）以上的Y₂O₃和V₂O₅的原始粉末按Y₅VO₁₀的化学式称量配料；（2）将步骤（1）原料湿式球磨混合12小时，球磨介质为乙醇，烘干后在1000℃大气气氛中预烧6小时；（3）在步骤（2）制得的粉末中添加粘结剂并造粒后，再压制成型，最后在1150~1200℃大气气氛中烧结4小时；所述的粘结剂采用质量浓度为5%的聚乙烯醇溶液，聚乙烯醇的添加量占粉末总质量的3%。本发明制备的陶瓷在1150-1200℃烧结良好，其谐振频率温度系数小，温度稳定性好，介电常数达到9.1～9.9，品质因数Qf值高达75000-96000GHz，在工业上有着极大的应用价值。