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> 技术详情
一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法
编号:S000015534
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-19
浏览:
2408
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 黑龙江
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法,涉及一种微流控芯片的键合方法。本发明的键合方法包括如下步骤:把预制的两块吸波加热基板分别与芯片的上下两个表面贴合,然后放入密闭容器内,用高频电磁波在密闭容器内辐射加热,微波功率为400-1000W,键合界面最高瞬时温度范围控制在95-200℃,键合时间为30-200S。相比国内外其它聚合物微流控芯片的键合方法,这种新型的方法需要的设备简单,工艺成本低、步骤少,易于在聚合物材质微流控芯片的键合领域推广应用。
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认证方式:
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