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电流调谐的集成磁膜微电感的制作方法和电感调谐方法
编号:S000015496 刷新日期: 有效日期至:2020-11-24 浏览:2339 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种电流调谐的集成磁膜微电感的制作方法,包括如下步骤:制作控制极金属压块和金属导线;制作SiN(氮化硅)介质层;制作图形化的NiFe-SiOx磁性薄膜;制作SiN(氮化硅)介质层;制作介质孔;制作电感金属、互联金属。该电感的调谐方法为,在制作的两个控制极金属压块上外加不同大小的直流电流,实现电感电感量和品质因数的调谐。本发明制得的微电感器件在微波频段(1~6GHz)下具有电感量可调、品质因数可调等特点,并且该电感的制作过程与GaAs、GaN基片标准MMIC制造工艺兼容,可广泛应用于各种RF/MMIC单元电路如放大器、混频器等,特别是各类智能RF/MMIC。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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