该发明属于真空辐射源器件配套用冷阴极电子枪，包括电子枪壳体及其底座，设有阵列式电子注输出孔上电极板、下电极板及冷阴极，设于上、下电极板之间的带互作用腔的微波输入层。该冷阴极电子枪由于在传统的冷阴极电子枪的上、下电极板之间增设一微波输入层，并在微波输入层中段的冷阴极上方开设一腔体作为互作用腔，冷阴极嵌于互作用腔底部，上电极板正对互作用腔开设了一组各孔尺寸小于微波波长的阵列式电子注输出孔；因而具有注波互作用腔的空间小、功耗低、可集成、尺寸小、响应速度快，可按要求馈入不同频率的微波来调制冷阴极发射电流，以产生不同频率及强度的电子注、为微型电真空器件提供电子发射源，有效扩大了应用范围等特点。