本发明涉及细胞迁移高分辨率阻抗实时跟踪测控装置及其制造方法和应用方法，特别适用于细胞电阻抗测量、细胞迁移、癌症检测、药物筛选、微流控及纳米技术应用。跟踪测控装置它包括腔体，其中部有能容纳液体的腔室，该腔室其中部由一个微孔薄膜将腔室隔成上腔室和下腔室；上腔体的电极孔插入的是上腔室电极，下腔体的电极孔插入的是下腔室电极，两电极分别与分析装置联接；下腔体的下部有与外部联通的液体进出通道。本发明的优点是：1.实时检测细胞，对体外培养细胞跨膜迁移过程进行高分辨、实时和无损伤、可靠跟踪测控、分析；2.提高检测灵敏度实现对单细胞的跨膜迁移追踪；3.通过微流管道精确的确定药物对细胞的效用；4.减小人为测控误差；5.操作简便、精确度高；6.装置制造简单，成本低。