中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是我国最早的工学研究机构之一。新中国成立后隶属中国科学院，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根据科研领域和科技发展目标的调整，更名为中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称上海微系统所）。 在八十多年的发展进程中，上海微系统所始终围绕国家战略需求，调整科研布局，发挥了对国民经济建设的骨干引领作用。上世纪五十年代，在国内率先研制成功球墨铸铁，成功解决了包钢高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收。六十年代中期，发展微电子和集成电路制造技术，与工业部门合作研制出国内第一块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路和国内第一块8位、16位微处理器。八十年代中期，开展微电子机械系统（MEMS）和绝缘体上硅（SOI）材料研究，在国内居领先地位，并在国际上占据了重要的一席之地。